28123 ФР.1.27.2017.27749 Измерение линейных размеров элементов рельефа поверхности ступенчатой формы по вертикальной оси с использованием принципов фотограмметрии при помощи микроскопа электронного растрового S-4800 в диапазоне измерений линейных размеро

Аттестующая организация

НазваниеЗначение
Наименование аттестующей организацииАО "НИЦПВ"
Номер аттестата аккредитации№ 01.00317-2011
Адрес аттестующей организации119421, Москва, ул. Новаторов, д. 40, корп. 1
Телефон аттестующей организацииНет данных
E-mail аттестующей организацииНет данных

Сведения о разработчике МВИ

НазваниеЗначение
Разработчик МВИАО «НИЦПВ»
Наименование разработчика МВИАО «НИЦПВ»
Адрес разработчика МВИ119421, 119421, г. Москва, ул. Новаторов, д. 40, корп. 1

Сведения об аттестованной методике (методе) измерений

НазваниеЗначение
Номер в реестреФР.1.27.2017.27749
Раздел реестраВне сферы обороны
Вид методикиМетодика (метод) измерений
Назначение методикиИзмерение линейных размеров элементов рельефа поверхности ступенчатой формы по вертикальной оси с использованием принципов фотограмметрии при помощи микроскопа электронного растрового S-4800 в диапазоне измерений линейных размеров по вертикальной оси от 2 нм до 60 мкм.
Наименование документа на методикуЛинейные размеры элементов рельефа поверхности ступенчатой формы по вертикальной оси. Методика измерений с использованием принципов фотограмметрии при помощи микроскопа электронного растрового S-4800.
№ свидетельства об аттестации241/01.00317-2011/2016
Дата свидетельства об аттестации08.06.2016
Вид измеренийГеометрические измерения
Метод измеренийМетод измерений основан на получении двух изображений исследуемого объекта в растровом электронном микроскопе S-4800 при двух углах наклона объекта и последующей обработкой полученных изображений, используя принципы фотограмметрии.
Измеряемая величинаЛинейные размеры элементов рельефа поверхности ступенчатой формы по вертикальной оси.
Пределы измеренийОт 2 нм до 60 мкм.
Характеристика погрешностиПогрешность измерений линейных размеров (H, нм) элементов рельефа ступенчатой формы по вертикальной оси, нм: - в диапазоне от 2 нм до 150 нм ±0,6; - в диапазоне от 150 нм до 300 нм ±0,8; - в диапазоне от 300 нм до 500 нм ±1; - в диапазоне от 500 нм д
СтатусДействует

Вложения

НазваниеЗначение

Общие сведения

НазваниеЗначение
Номер записи28123
Дата опубликования18.04.2018