41308 ФР.1.27.2011.09318 Рекомендация «Метрические параметры поверхности. Методика выполнения измерений с помощью сканирующей зондовой нанолаборатории Ntegra Aura»

Аттестующая организация

НазваниеЗначение
Наименование аттестующей организацииНет данных
Номер аттестата аккредитацииНет данных
Адрес аттестующей организацииНет данных
Телефон аттестующей организацииНет данных
E-mail аттестующей организацииНет данных

Сведения о разработчике МВИ

НазваниеЗначение
Разработчик МВИИнститут кристаллографии им. А.В. Шубникова РАН
Наименование разработчика МВИИнститут кристаллографии им. А.В. Шубникова РАН

Сведения об аттестованной методике (методе) измерений

НазваниеЗначение
Номер в реестреФР.1.27.2011.09318
Раздел реестраВне сферы обороны
Вид методикиМетодика (метод) измерений
Назначение методикиМетодика измерения метрических параметров (высота, шероховатость, сечение) в микро- и нанообъектах , кристаллов, покрытий и пленок на сканирующем зондовом микроскопе Ntegra Aura. Объект контроля- мера ширины и периода специальная МШПС-2.0К.
Наименование документа на методикуРекомендация «Метрические параметры поверхности. Методика выполнения измерений с помощью сканирующей зондовой нанолаборатории Ntegra Aura»
№ свидетельства об аттестации50ПВ
Дата свидетельства об аттестации25.08.2009
Вид измеренийГеометрические измерения
Метод измеренийМетодом атомно-силовой микроскопии (АСМ)
Измеряемая величинаМетрические параметры
Пределы измерений10-1-10-5
Характеристика погрешности±6% при доверительной погрешности Р=0,95 в диапазоне 10-10-10-8 м и 5% в диапазоне 10-8-10-5м.
СтатусДействует

Вложения

НазваниеЗначение

Общие сведения

НазваниеЗначение
Номер записи41308
Дата опубликования18.04.2018