Сканирующий электронный микроскоп SEM-515

Предназначен для микроскопии высокого разрешения. Технические характеристики: диапазон ускоряющего напряжения и тока пучка - 3—30 кВ, разрешение - до 10 нм (при ускоряющем 30 кВ), минимальное увеличение ∼ 20 крат, глубина резкости (соответствущая предельному разрешению человеческим глазом элементов конечного изображения (0,2 мм)) - порядка 0,5 от его линейных размеров.