Стилусный профилометр Alpha-Step® D-120  позволяет быстро получать 2D-топографию поверхности и высчитывать её характеристики. Профилометр Alpha-Step® D-120  обеспечивает диапазон перемещения по вертикали в 800 микрон (возможно опциональное увеличение до 1.2 мм), суб-ангстремное разрешение сканирования, повторяемость в измерении высоты в пределах 6 ангстрем, столик для установки образцов с возможностью регулировки в трех плоскостях, а так же множество других полезных особенностей.

Разрешение по вертикали 0.5 нм; длина получаемого изображения 55 мм; диапазон перемещения по вертикали до 1.2 мм; предметный столик (диаметр 200 мм) с сервоприводами для установки образца; диапазон перемещения предметного столика 150х178 мм

Стилусный профилометр Alpha-Step ® D-120 предоставляет широкий спектр применений для научно-исследовательской деятельности благодаря своим выдающимся характеристикам: диапазон перемещения по вертикали составляет 1.2 мм, суб-ангстремное разрешение сканирования, повторяемость в измерении высоты в 6 ангстрем (или 0,1 % от номинальной высоты), предметный столик радиусом 200 мм с двухкоординатным сервоприводом, а так же многое другое.

 Сравнительная таблица характеристик

  Основными областями применения для Alpha-Step D-series являются:

  • Исследования текстуры поверхности;
  • Напряжение тонких пленок;
  • Исследование биологических объектов;
  • Микроэлектромеханические системы;
  • Характеристика свойств материалов;
  • Прецизионное измерение вертикальных ступенек на поверхности;
  • Исследование шероховатости и дефектности поверхности.


Оборудование:
Профилометр стилусный контактный AlphaStep D-120
Производитель:
KLA-Tencor Corporation
Стандарт ГОСТ/ISO/ASTM:
№39377 ФР.1.27.2011.11533 Методика измерений параметров шероховатости и топографии поверхности на контактном профилометре

Методика поверки (mp_66974-17.pdf, 10,158 Kb) [Скачать]

СИ (66974-17.pdf, 202 Kb) [Скачать]