Сканирующий спектральный фазово-модуляционный эллипсометр UVISEL 2

Новое поколение популярной серии эллипсометров UVISEL.

• полностью автоматизированное измерение образцов и калибровка прибора;
• возможность измерять образцы толщиной от нескольких Ангстрем до десятков микрон благодаря широкому спектральному диапазону;
• оптимальное решение для большинства задач анализа тонких пленок.

Сканирующий спектральный фазово-модуляционный эллипсометр UVISEL 2 – мощнейший инструмент для исследования свойств тонких пленок. Предыдущая версия UVISEL показала себя, как наиболее точный и чувствительный эллипсометр. Используя данный опыт, компания HORIBA Scientific разработала новый прибор, внеся существенные улучшения в дизайн и автоматизацию. Как результат, по своим характеристикам UVISEL 2 превосходить любой из представленных на рынке аналогов.

Преимущества прибора:

• Широкий спектральный диапазон - от 190 до 2100 нм - позволяет исследовать пленки толщиной от 10 Ангстрем до 40 микрон;
• Высокочувствительная технология фазовой модуляции – модуляция поляризации осуществляется с высокой частотой (50 кГц) без механического перемещения движения, без каких-либо вибраций или отклонений луча;
• Патентованная система наблюдения образца MyAutoView, расположенная непосредственно в детектирующей головке эллипсометра, позволяет видеть точную форму и положение аналитического пятна на образце, в отличие от систем наблюдения под прямым углом к образцу.
• Патентованная система микропучка дает возможность автоматического выбора любого из 8 размеров микропятна. При этом минимальный размер микропятна – 35 микрон – является на сегодняшний момент наименьшим среди приборов данного класса. А использование только зеркальной оптики позволяет избежать искажений при анализе в диапазоне от УФ до ИК.
• Полная автоматизация прибора автоматическим гониометром, столиком XYZ, автоматической подстройкой наклона образца, функцией автокалибровки и микропучком позволяет быстро и комфортно проводить исследования образцов, а также выполнять картирование и анализ при различных углах падения.
• Время измерения полного спектрального диапазона 190-2100 нм – менее 10 минут;
• Современный дизайн – совместная разработка японских и французских специалистов. Прибор представляет собой единый модуль с внешним соединением к компьютеру всего лишь через 1 USB-кабель.

Технические спецификации

Спектральный диапазон, нм

190 - 880
(опционально 190 - 2100)

Минимальный размер аналитического микропятна, мкр

35

Число размеров аналитического микропятна, доступных для выбора из программного обеспечения

8

Ахроматическая оптика микропучка

от УФ до ИК

Диапазон углов, град

35 - 90

Держатель образца с двумя референсными образцами, мм

200

Максимальное смещение по XY, мм

200 х 200

Автоматическая подстройка по оси Z, мм

35 (автофокус)

Настройка положения образца

при помощи лазерной системы

Мощность источника (ксеноновая лампа), Вт

150

Двойной монохроматор на УФ - видимый спектральный диапазон, нм

190 – 880
(рассеянный свет < 0,5% при 190 нм)

ФЭУ детекторы

сдвоенные, для максимальной чувствительности и динамического диапазона

ИК расширение, нм

до 2100

Монохроматор на ИК диапазон, нм

880 - 2100

InGaAs детектор

наличие

Качество измерений:

NIST 1000 ангстрем SiO2/Si

Точность, град

d: σ = 0,25 ангстрем – n(632,8 нм): σ = 0,0002

Воспроизводимость

d ±0,25 ангстрем – n(632,8 нм) ± 0,0002

Габаритные размеры (ДхШхВ), см

108,4 х 98,4 х 80,2