РАСТРОВЫЙ ДВУХЛУЧЕВОЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ МИКРОСКОП QUANTA™ 3D DUALBEAM™

Микроскоп Quanta™ 3D DualBeam™ – самый универсальный микроскоп компании FEI для 2D и 3D характеризации и анализа материалов, Quanta 3D имеет три режима визуализации СЭМ (высокого вакуума, низкого вакуума и режим естественной среды) для того, чтобы в нем можно было подобрать характеристики для изучения широкого спектра образцов. Встроенный сфокусированный пучок ионов (ФИП) добавляет возможности получения поперечных срезов образца, что расширяет диапазон применения микроскопа. Режим естественной среды позволяет проводить in situ изучение динамического поведения материалов при различных уровнях влажности, температуры и давления.

Катод Шотти с полевой эмиссией позволяет сфокусировать первичный электронный пучек не хуже чем 1,2 нм; фокусированный ионный пучок галлия (размером не более 3 нм) позволяет проводить модификацию поверхности; прибор оборудован системой локального осаждения Pt и C на поверхность, а также микроманипулятором Kleindeik nanotechnik; микроскоп оснащен режимом низкого вакуума (10-130 Па) и режимом естественной среды (до 4000 Па и 100% отн. вл), прибор оснащен детекторами обратнорассеяных электронов

Quanta 3D DualBeam (сканирующий электронный микроскоп в сочетании с системой сфокусированного пучка ионов) открывает новые возможности и маневренность для инженеров и исследователей, имеющих необходимость характеризовать материалы, проводить анализ неисправностей и контролировать процессы. Система сочетает в себе традиционную сканирующую электронную микроскопию теплового излучения (СЭМ) со сфокусированным ионным пучком (ФИП) в дополнение к существующим инструментам в вашей лаборатории и расширяет диапазон приложений для 3D исследования и наноанализа, ПЭМ пробоподготовки или структурной модификации поверхности образцов в нанометровом масштабе.