Автоэмиссионный сканирующий электронный микроскоп ΣIGMA

Благодаря колонне с технологией GEMINI со встроенным в линзовую систему детектором вторичных электронов, ΣIGMA обеспечивает беспрецедентное разрешение (до 1,5 нм), контрастность и яркость изображений.

Конструкция колонны обеспечивает превосходное изображение и стабильность при низком напряжении. Может работать как в режиме высокого, так и в режиме переменного вакуума, давая изображение проводящих и непроводящих образцов с высоким разрешением. На новом электронном микроскопе ΣIGMA можно исследовать образцы диаметром до 250 мм и длиной до 145 мм. Кроме того, сопланарное размещение портов камеры микроскопа обеспечивает идеальную геометрию для одновременной работы энергодисперсионного спектрометра (EDS) и детектора дифракции обратно рассеянных электронов (EBSD). Это обеспечивает одновременный сбор данных от двух систем.

Модель ΣIGMA HD обеспечивает дальнейшее увеличение разрешения до 1,0 нм, а также возможность более быстрого и точного энергодисперсионного  анализа благодаря возможности установки двух EDS.

Опционное программное обеспечение для анализа частиц позволяет определять распределение по размерам и по материалам. Микроскопы SIGMA полностью совместимы с различными приставками ведущих мировых производителей – Oxford Instruments, Gatan Inc. В камере микроскопа можно поместить ультрамикротом 3View® фирмы Gatan Inc., что позволяет непрерывно нарезать образец  и анализировать срезы (толщина среза от 5 нм). Это позволяет получить 3D реконструкцию объектов (например, металлических покрытий или биологических объектов, залитых в смолу). При этом благодаря технологии GEMINI обеспечивается качество изображения, сопоставимое с ПЭМ, поле зрения сотни микрон с разрешением 1 нм.

Опционный программный модуль Shuttle & Find позволяет наладить совместную работу электронного и оптического микроскопов. Благодаря полуавтоматической калибровке системы координат можно получить контрастное оптическое изображение, настроить электронный микроскоп на ту же область и использовать его аналитические возможности для того, чтобы получить информацию о структуре и химическом составе образца.