41309 ФР.1.27.2011.09319 Рекомендация «ГСИ. Метрические параметры поверхности. Методика выполнения измерений с помощью сканирующего зондового микроскопа Solver P47H»

Аттестующая организация

НазваниеЗначение
Наименование аттестующей организацииНет данных
Номер аттестата аккредитацииНет данных
Адрес аттестующей организацииНет данных
Телефон аттестующей организацииНет данных
E-mail аттестующей организацииНет данных

Сведения о разработчике МВИ

НазваниеЗначение
Разработчик МВИИнститут кристаллографии им. А.В. Шубникова РАН
Наименование разработчика МВИИнститут кристаллографии им. А.В. Шубникова РАН

Сведения об аттестованной методике (методе) измерений

НазваниеЗначение
Номер в реестреФР.1.27.2011.09319
Раздел реестраВне сферы обороны
Вид методикиМетодика (метод) измерений
Назначение методикиМетодика метрических измерений микро- и нанообъектов, кристаллов, покрытий, пленок Объект контроля- мера ширины и периода специальная МШПС-2.0К.
Наименование документа на методикуРекомендация «ГСИ. Метрические параметры поверхности. Методика выполнения измерений с помощью сканирующего зондового микроскопа Solver P47H»
№ свидетельства об аттестации51ПВ
Дата свидетельства об аттестации25.08.2009
Вид измеренийГеометрические измерения
Метод измеренийМетод зондовой микроскопии с помощью Solver P47H
Измеряемая величинаМетрические параметры
Пределы измеренийВ диапазоне 10-10-10-5 м
Характеристика погрешности±6% при доверительной вероятности Р=0,95 в диапазоне измерений 10-10-10-8 и 5% в диапазоне 10-8-10-5 м.
СтатусДействует

Вложения

НазваниеЗначение

Общие сведения

НазваниеЗначение
Номер записи41309
Дата опубликования18.04.2018