Неразрушающий метод анализа, который позволяет получать акустическое изображение образца и выявить такие дефекты как расслоение, наличие пустот и трещин. Позволяет определять качество процесса бондинга. Максимально разрешение 5мкм.
Оборудование:
Установка для акустических исследований объемных структур KSI v-350lm
Производитель:
KSI Sonic Industries GmbH