Войдите в учётную запись, чтобы мы могли сообщить вам об ответе
Количественный морфологический анализ и измерение линейных размеров микрорельефа поверхности твердотельных структур, элементный анализ от В до U с чувствительностью порядка 0,1 % на РАСТРОВОМ ЭЛЕКТРОННОМ МИКРОСКОПЕ JSM-6460LV С ПРИСТАВКОЙ РЕНТГЕНОВ-СКОГОМИКРОАНАЛИЗА INCAX-SIGHT, ПРИСТАВКОЙ РЕГИСТРАЦИИ СПЕКТРОВ МИКРО-КАТОДОЛЮМИНЕС-ЦЕНЦИИMONOCL3 И ПРИСТАВКОЙ РЕГИСТРАЦИИ ДИФРАКЦИИ ОБРАТНО-РАССЕЯННЫХ ЭЛЕКТРОНОВ
Исследование спектров микрокатодолюминисценции в диапазоне 300-900 нм с пространственным разрешением порядка 1 мкм в диапазоне температур 78 -300 К. Исследование дифракции обратно-рассеянных электронов для определения кристаллической структуры изучаемых объектов с локальностью несколько микрометров.
Микроскоп представляет собой стационарную автоматизированную многофункциональную измерительную систему и состоит из электронно-оптической системы (колонны), камеры объектов с механизмом перемещения объектов, детектора вторичных и детектора отраженных электронов, вакуумной системы, видеоконтрольного устройства, блока питания.
Принцип получения изображения в микроскопе заключается в модуляции яркости монитора видеоконтрольного устройства сигналами, пропорциональными числу зарегистрированных вторичных отраженных электронов, при сканировании сфокусированного электронного зонда по поверхности объекта. Отношение размера изображения на мониторе к размеру растра на образце определяет увеличение микроскопа.
При работе микроскопа обеспечиваются безопасные условия труда оператора. При максимальных значениях ускоряющего напряжения и тока зонда мощность эквивалентной дозы рентгеновского излучения в любой доступной точке на расстоянии 10 см от поверхности колонны и камеры объектов микроскопа не превышает 1 мкЗв/ч.
Основные технические характеристики
Диапазон регулировки ускоряющего напряжения
1¸30 кВ.
Разрешение при ускоряющем напряжении 30кВ
3нм
Диапазон регулировки увеличения
12¸300000 крат.
Производитель
JEOL, Япония