Лабораторное исследование на времяпролетном вторично-ионном масс-спектрометре TOF SIMS-5-100 со следующими характеристиками:
- Регистрация ионов с массой от 1 до 10 000 а.е.м.;
- разрешение по глубине от 0.5 ?;
- параллельное детектирование сразу всего масс-спектра;
- предел обнаружения бора (В) в кремнии (Si) 1016 ат./см3;
- предел обнаружения фосфора (P) в кремнии (Si) 1015 ат./см3;
- предел обнаружения других элементов от 1015 до 1019 ат./см3;
- линейное разрешение 80 нм