Определение элементного состава микроучастка поверхности на растровом электронном микроскопе с помощью приставок для волнодисперсионного или энергодисперсионного ренгенофлуоресцентного анализа
Получение снимка поверхности на растровом электронном микроскопе
Исследование морфологии поверхности на сканирующем электронном микроскопе