Определение элементного состава микроучастка поверхности на растровом электронном микроскопе с помощью приставок для волнодисперсионного или энергодисперсионного ренгенофлуоресцентного анализа
Элементный анализ микрообъектов с использованием метода сканирующей электронной микроскопии